预算金额：500.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：486.000000 万元（人民币）
采购需求：
1.能处理的硅片最大尺寸为8英寸(200mm) ，同时向下兼容小尺寸和碎片样品。
2.片内均匀性：< 12% (R/2x)，在100 Å/min刻蚀条件下；
测试工艺条件与计算方法：
测试片：8英寸衬底、带2μm或以上厚度热氧化硅薄膜
3.片间重复性：< 12% (R/2x)；
测试工艺条件与计算方法：
测试片：8英寸衬底、带2μm或以上厚度热氧化硅薄膜
均匀性 = (最快–最慢) / (2*平均值) *100%
本项目接受进口产品。
本项目所属行业：工业。
本项目(非专门)面向中小企业采购。
本项目(非专门)面向监狱企业采购。
本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。
最高限价：486万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件
项目编号：06注册后查看
合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：（1）如为进口产品，需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
三、获取招标文件
：2025年07月0
至 2025年07月1
，每天
9:00至11:00，
14:00至17:00。（北京
，法定节假日除外）
本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,联系工作人员办理入网升级。
联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn
